氦检漏漏率1.0×10⁻⁸ mbar·L/s——专为液冷接头量产打造的双腔方案
本文介绍远望智能液冷接头双腔氦检机,以40秒节拍、1.0×10⁻⁸ mbar·L/s漏率及98%氦气回收率,为AI液冷接头量产提供高精度、可嵌入产线的氦检漏解决方案。
2026.08.27
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